Статья 7121

Название статьи

Особенности технологии изготовления высокотемпературного бесконтактного датчика для системы линейных перемещений 

Авторы

Алексей Владимирович Гладков, аспирант, Пензенский государственный университет (Россия, г. Пенза, ул. Красная,40), E-mail: iit@pnzgu.ru
Никита Вячеславович Недопекин, аспирант, Пензенский государственный университет (Россия, г. Пенза, ул. Красная,40), E-mail: iit@pnzgu.ru
Алексей Анатольевич Трофимов, доктор технических наук, доцент, профессор кафедры информационно-измерительной техники и метрологии, Пензенский государственный университет (Россия, г. Пенза, ул. Красная,40), E-mail: iit@pnzgu.ru
Владислав Николаевич Пономарев, аспирант, Пензенский государственный университет (Россия, г. Пенза, ул. Красная,40), E-mail: iit@pnzgu.ru 

Индекс УДК

681.2-2 

DOI

10.21685/2072-3059-2021-1-7 

Аннотация

Актуальность и цели. Предметом исследования является технология изготовления высокотемпературного бесконтактного датчика перемещения. Целью работы является определение особенностей технологии изготовления высокотемпературного бесконтактного датчика перемещения за счет использования технологии микроэлектромеханических систем (МЭMС).
Материалы и методы. Для реализации высокотемпературного бесконтактного датчика перемещения использована МЭМС-технология. Рассмотрены особенности технологической подготовки производства для изготовления металлокерамического корпуса и чувствительного элемента, выполненного в виде многослойной катушки индуктивности на кремневых подложках.
Результаты. Использование МЭМС-технологии для изготовления высокотемпературного датчика перемещения позволяет получить такие преимущества, как надежность, миниатюризация, многокомпонентность и высокая степень интеграции. В частности, использование металлокерамического корпуса и катушек индуктивности на кремневых подложках предоставляет возможность датчику перемещения работать в условиях воздействия высоких температур – до 600 °С.
Выводы. Описанные технологические решения для изготовления металлокерамических корпусов и кремневых подложек позволяют удовлетворить современные тенденции развития космической техники, обусловленной экстремальными условиями эксплуатации, а также получить большой технологический задел, необходимый для дальнейшего проведения работ по созданию высокотемпературных датчиков перемещений различных диапазонов измерений. 

Ключевые слова

датчик линейных перемещений, технология изготовления, высокотемпературный датчик, металлокерамический корпус 

 

 Скачать статью в формате PDF

Список литературы

1. Мусаев Р. Ш., Трофимов А. А., Здобнов С. А., Цибизов П. Н. Этапы развития и основные направления совершенствования датчиков физических величин для ракетно-космической техники // Датчики и системы. 2019. № 12. С. 30–39.
2. Дмитриенко А. Г., Блинов А. В., Трофимов А. Н., Трофимов А. А. Тенденции развития датчиков, преобразователей и на их основе систем измерения, мониторинга и контроля технически сложных объектов ракетно-космической техники // Датчики и системы. 2012. № 9. С. 4–6.
3. Дмитриенко А. Г., Трофимов А. А. Высокотемпературный датчик линейных перемещений // Авиация и космонавтика – 2012 : сб. материалов конф. Москва, 2012. C. 141–142.
4. Трофимов А. А., Трофимов А. Н. Расширение температурного диапазона растровых трансформаторных датчиков перемещений // Измерительная техника. 2009. № 6. С. 24–26.
5. Трофимов А. А., Конаков Н. Д. Трансформаторные датчики перемещений с расширенным диапазоном измерений // Датчики и системы. 2005. № 9. С. 8–10.
6. Трофимов А. А. Унифицированные электромагнитные датчики перемещений для систем специального назначения : дис. … д-ра техн. наук. Пенза : Изд-во ПГУ, 2011. 303 с.
7. Дмитриенко А. Г., Трофимов А. А. Высокотемпературный датчик линейных перемещений Авиация и космонавтика – 2012 : сб. материалов конференции МАИ. М., 2012. С. 141–142.
8. Труды Всероссийской научно-технической конференции «Актуальные проблемы ракетно-космического приборостроения и информационных технологий» : монография. М. : Физматлит, 2009. 376 с. 

 

Дата создания: 04.02.2021 09:03
Дата обновления: 12.05.2021 15:40